基丙烯酸甲酯(PMMA)和三塊尺寸為 7mm×7mm 壓力陶瓷組成。**上層的 PMMA 層有三個正方形的槽，可以起到隔離的作用。傳送液體的腔體及通道由下層的 PMMA 經過兩個動作完成：①系統由一個 500μm 厚的硅片產生液體傳送通道與空腔，之后一層鋁薄膜噴涂到該硅片薄膜表面上，然后利用傳統的照相平板印刷術形成一個 200μm×15μm×7μm 的空腔；②一層很薄的金被汽化后沉積到硅片空腔上，這樣通過硅片薄膜就形成了一個波形，使得上下層的 PMMA 層相互接觸排出液體。 

(2)  電磁驅動 

電磁驅動蠕動泵通過通電產生磁場與泵體內的磁體之間相互作用產生的洛倫磁力來驅動，力的大小取決于電流的大小。其特點是工作電壓較低、驅動力較大，由于磁場的存在不需要額外的外界媒介，因此在體積上也有較大的優勢。電磁驅動蠕動泵主要由內嵌的**性磁鐵和線圈構成。當外部線圈通電時，則線圈與磁體之間將產生向上或者向下的洛倫磁力，力的大小隨著電流的變化而變化[6]。在蠕動泵的底部分別設有進口和出口，在通電過程中通過泵腔內部體積變化而完成吸液和排液過程。 

(3)  氣動微泵 

氣動微泵主要由致動器、硅片振動薄膜、密封的液體或氣體及出口、進口兩個閥組成。其原理是通過熱電阻通電對密封的液體或者氣體加熱，然后進行冷卻，利用熱脹冷縮的原理來使得振動薄膜受力產生變形，從而實現液體或者氣體的吸入或者排出。氣動微泵的特點是能用較小的電壓獲得較大的振動薄膜變形，缺點是由于熱延遲而導致致動頻率較低[7, 8]

。 

(4)  靜電驅動式蠕動泵 

在 MEMS 研究*域中，靜電驅動得到了快速且廣泛的發展。靜電驅動式蠕動泵的致動器由有兩層硅片薄膜構成，上方的彈性薄膜作為泵膜，下方的薄膜做成固定的電極。其工作原理類似于電容器，當給兩個電極施加電壓時，靜力則吸引上層的硅片薄膜偏移；斷電后電容器放電，泵膜慢慢的回到原來的位置，這樣使得密封泵腔內的體積產生變化，在外部壓力作用下導致出口與進口閥的關閉與開啟，達到了液體的定向流動效果。靜電驅動的主要特點是功耗低、結構簡單、能達到較高的工作頻率及可以達到很小的輸出，其缺點是致動的電壓較高，由于薄膜在較大變形時會產生波動，從而不能達到高輸出[9, 10]。 

(5)  記憶合金蠕動泵 

由 TiNi 合金制得的記憶合金(SMA)在受熱和冷卻時具有很高的恢復力和致動力，因此通過給 SMA 加熱和冷卻可以提供驅動力。記憶合金蠕動泵能產生較大的流速和較大的工作壓力，**大承受壓力可以達到數百 KPa，其主要特點是供電電壓低、響應速度快、致動力大等[11]。 

自從美*學者 Jon Smiths 在 20 世紀 80 年代初率先提出研發出了用于胰島素注射的蠕動泵以來，*內外涌現了很多不同驅動方式的蠕動泵，取得了很大的進展。不同的驅動方式的蠕動泵所能達到的輸出流量及背壓大小也不盡相同，如圖 1.1 所示為不同驅動方式的蠕動泵的性能對比[12]，(a)為各種驅動方式下的輸出流量范圍，(b)為各種蠕動泵的背壓大小。