化學機械拋光是指利用拋光機、拋光液、拋光布等在一定的工藝條件下實現材料表面高平坦化的加工過程，其中拋光液的供給由蠕動泵完成。
蠕動泵特有的泵送液體與泵體嚴格分離的結構以及泵管和泵頭可隨時更換的特點，使得在化學拋光過程中，蠕動泵應用的優勢非常明顯。
（1）無污染：在化學拋光過程中，蠕動泵輸送的拋光液始終在泵管內流動，不接觸泵體，尤其是不與機械傳動機構接觸，避免了化學機械拋光過程中的金屬污染，同時也不會由于拋光液的腐蝕性損壞泵體的機械元件。
（2）具有自吸能力：蠕動泵在工作過程中，可產生足夠的真空吸力將拋光液從夜池中吸到泵管中，從而可免除前期灌泵和吸入管充水過程。這也免除了淹沒充水的需要，因此不再需要將泵置于液體源液面以下，使泵的安裝位置變得更加靈活，與拋光機本身更好的融為一體。另外，蠕動泵中充水不會流失，因此可免除無謂停機。
（3）操作簡便：蠕動泵的操作非常簡單，開箱取出即可使用。泵頭的安裝只需要用手旋螺釘幾分鐘內即可安裝好，泵管的安裝、拆卸、鎖緊可根據要求隨時進行，不需要任何工具。另外，蠕動泵控制簡單，用撥號盤或小鍵盤即可進行轉速控制，通過直觀易懂的菜單方式來編程控制較為復雜的任務。另外根據不同的流量要求也可一個蠕動泵同時連接2-3個泵頭，實現拋光液的多路供給。